演題概要

オーラルセッション

第2日　5月16日（木）　10:30～10:50　C会場（101）

2C-O1-1030　　PDF

イオン液体で濡らした針先端からのプロトン含有クラスターイオンビームの生成：集束イオンビーム（FIB）用の液体金属イオン源を参考として

(産総研)
^o藤原幸雄・ 齋藤直昭

Emission of cluster ions from a sharped rod wetted with liquid, which is an important phenomenon in liquid metal ion sources, was investigated using a protic ionic liquid. A stable cluster ion beam was generated from a tip of a sharpened rod wetted with propylammonium nitrate ([C₃H₇NH₃][NO₃]). The cluster ion beam contained massive cluster ions exceeding m/z 5000. In addition, the cluster ion beam was tested as a primary ion beam in secondary ion mass spectrometry (SIMS). The cluster ion beam proved to be useful for enhancing molecular ionization of organic materials.